GB/T13843-1992 GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

标准编号:GB/T 13843-1992 时间:1992-01-02 大小:KB 浏览次数:158 下载次数:94
资料名称: GB/T13843-1992 GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片
标准类别: 国家标准
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整理时间: 1992-01-02
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实施日期: 1993-08-01(仅供参考)
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标准简介: GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片 国家标准(GB) GB/T13843-1992 本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。

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标准名称: 蓝宝石单晶抛光衬底片
英文名称: Polished monocrystalline sapphire substrates(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: SEMI M3-1983,REF(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
页  数: 平装16开, 页数:10, 字数:16千字(仅供参考)
首发日期: 1992-12-28(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 天津半导体技术研究所(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
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