GB/T14601-1993 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨
标准编号：GB/T 14601-1993 时间：1993-08-26 大小：KB 浏览次数：149 下载次数：58| 资料名称： | GB/T14601-1993 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1993-08-26 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 1994-07-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 149次 |
| 标准简介： | GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 国家标准(GB) GB/T14601-1993 本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 14601-1993 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 高纯氨 | |
| 英文名称： | Gases for electronic industry. High purity ammonia（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家技术监督局（仅供参考） | |
| 页 数： | 5页（仅供参考） | |
| 首发日期： | 1993-08-26（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 化工部西南化工研究院（仅供参考） | |
| 相关标准： | ||
| 下载次数： | 58次 | |
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